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微型机械导论

                                              内容简介
 
        微型机械,即微机电系统(micro elecmmmechanical sysb}n).是20世纪末兴起的、21世纪初快速发展的高科技前沿领域.
       本书共11章,较全面、系统地介绍了徽型机械及其发展历史,怎样制作微型机械.用通俗易懂的l言,分别介绍了用传统的超精密加工方法、半导体工艺加工方法和一些有发展前景的加上方法。特别对最常用的硅的体徽型机械加工和表面微型机械加工做了较详细的介绍:介绍了微型传感器、微型执行器和m系统以及典型的实例;T点介绍了微型机械的设计、建模和检测技术:展望了徽型机械的未来,刘基础研究、制作工艺等各方面的发展做了阐述;此外,还介绍了国外对微型机械人才的培养情况。
       作为填补国内空缺的入门教材,本书的特点是:立足学科发展前沿,内容丰富多彩。深入浅出.通俗易值,图文井茂:信息量大,覆盖面广。
      本书可作本学科本科教育教材和研究生的参考书,也可作为相关科技工作者、管理人员和其他感兴趣读者的参考资料.

                                                 前  言

       徽机电系统(micro electroamechanical system),泛20世纪末兴起的,21讼纪初开始快逮发展的高相走前沿领域.正如丁街高院士所说,它是一项“重要和活跃、学科交叉的研究倾域,沙及电子工程、材料工程、机械工程,信忠工程,物理学、化学、光学以及生物等多种工柱技术和学科,的大科学工程。其研究和开发内容包括:基地研究.设计、工艺、材料。应用等诸多方面.这个领域已受到世界各发达国家的广泛重视。它的现实和潜在的应用,将会给国民经济和国家安全带来巨大的好处,是未来国民经济析的增长点(49估计21世纪初,可带动1万亿美元的市场).
       20世纪90年代rA来。柞者先后负责和参加了与徽机电系统有关的多项国家自然科学基金项目.深感对这种跨学科、多领城的新兴课题,需要较宽的知识结构,禽要相关各学科人员的沟通和协调。为此,十分禽要一本微机电系统的概论性教科书.
       近年来,美国.日水、英国等陆续出版了不少与之相关的著作,但是由于作者各自科研的情况不同.各有侧重;国内相关的著作有:黄庆安的《硅摊机械加工技术》,白春礼的以扫描陇道显微术及其应用N。刘静的《微粉纳米尺度传热学》等.此外,一些高等学校也开始编写了一些讲义,如:清华大学精密仪器和机械学系李庆祥老师编写的斌精密技术》、中国科学技术大学物理系胡一贯老师编写的《徽细加工技术冲等,但至今尚未见到一拟变系统,较全面,且公开出版的介绍徽型机械的入门书籍.
      另一方面,国外不少著名大学〔在机械工程‘电子工程和应用力学系〕最近开设了与微机械电子系统(MEMS》相关的系列课程,这是一门使大学生了解高料技前沿的新倾课程。是时学生进行素质教育的一个重要方面,也是进行教学改革,更断较陈旧的教学内容的一项目要举措.

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